[发明专利]活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统在审
| 申请号： | 201310365442.1 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104421437A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 倪图强;吴狄 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/18 | 分类号： | F16K1/18;F16K31/06;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种活动阀门，用于隔离真空处理腔室与真空传输室，真空处理腔室中设有一晶圆箱，用于放置晶圆，真空传输室中设有一机械臂，用于通过连接通道传输晶圆，活动阀门包括：一常闭门体，设于连接通道中并与其密合，门体至少包括一受磁部件，受磁部件设置于门体一活动端部；一电磁转换单元，固接于连接通道上远离受磁部件的一面，其通电后产生磁吸力作用于受磁部件而带动门体打开。该活动阀门以及使用该活动阀门的真空处理系统结构简单、实施便利。 | ||
| 搜索关键词： | 活动 阀门 屏蔽门 真空 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种用于真空处理系统的活动阀门，设于真空处理腔室与真空传输室的连接通道中并与其密合，用于隔离所述真空处理腔室与真空传输室，所述真空处理腔室中设有一晶圆箱，用于放置晶圆，所述真空传输室中设有一机械臂，用于通过所述连接通道传输晶圆，所述活动阀门包括：一常闭门体，设于所述连接通道中并与其密合，所述门体至少包括一受磁部件，所述受磁部件设置于所述门体一活动端部；一电磁转换单元，固接于所述连接通道上远离所述受磁部件的一面，其通电后产生磁吸力作用于所述受磁部件而带动所述门体打开。
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