[发明专利]一种LED衬底晶片加工盘面平坦度测量仪器有效

专利信息
申请号: 201310366057.9 申请日: 2013-08-20
公开(公告)号: CN103438857A 公开(公告)日: 2013-12-11
发明(设计)人: 潘相成 申请(专利权)人: 常州市好利莱光电科技有限公司
主分类号: G01B21/30 分类号: G01B21/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213164 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种LED衬底晶片加工盘面平坦度测量仪器,由多道步骤构成,它包括外型原理设计,仪器制作的选材,应力测试,抗压强度测试,外型原理设计包括对仪器的整个外型设计和仪器的测试原理设计,通过对仪器盘面制作的选材来提高其应力及抗压强度测试的能力,确保衬底晶片的盘面精度控制在±1um以内,更好的提升了衬底晶片的质量,而且缩短了之辈周期,从而节约生产成本,又达到提高劳动生产率的目的。
搜索关键词: 一种 led 衬底 晶片 加工 盘面 平坦 测量 仪器
【主权项】:
一种LED衬底晶片加工盘面平坦度测量仪器,其特征在于:仪器设计步骤包括,外形原理设计,仪器制作的选材,应力测试,抗压强度测试。
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