[发明专利]选择性线性蒸发设备

摘要

公开的是一种选择性线性蒸发设备，该设备包括多个线性蒸发器、角度限制板、遮挡构件以及驱动器。所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料，并且沿着基片的传输方向间隔开。该角度限制板朝向线性蒸发器的上侧以预定高度安装在线性蒸发器的相对侧处并且限制了从线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度。该遮挡构件安装在线性蒸发器的上方以及角度限制板之间，并且包括使线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使线性蒸发器从外侧关闭的关闭部。该驱动器驱动遮挡构件以在原材料从线性蒸发器蒸发时将打开部定位在线性蒸发器的上方，并在原材料未从线性蒸发器蒸发时将关闭部定位在线性蒸发器的上方。

主权项

一种选择性线性蒸发设备，包括：多个线性蒸发器，所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料，并且所述多个线性蒸发器沿着所述基片的传输方向间隔开；角度限制板，所述角度限制板朝向所述线性蒸发器的上侧以预定高度安装在所述线性蒸发器的相对侧处，并且限制从所述线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度；遮挡构件，所述遮挡构件安装在所述线性蒸发器的上方并位于所述角度限制板之间，并且所述遮挡构件包括使所述线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使所述线性蒸发器从外侧关闭的关闭部；以及驱动器，所述驱动器驱动所述遮挡构件，以在所述原材料从所述线性蒸发器蒸发时将所述打开部定位在所述线性蒸发器的上方，并在所述原材料未从所述线性蒸发器蒸发时将所述关闭部定位在所述线性蒸发器的上方。