[发明专利]二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法无效
| 申请号： | 201310371386.2 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103487882A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 常建华;杨镇博;顾久驭;王亚炜;尹杰 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种PPLN光波导制备方法，尤其是二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法。所述制备方法抛光晶体端表面，切割晶体形成脊波导，对脊波导和衬底镀金属保护膜后清洗掉脊波导表面的金属保护膜后，对脊波导进行二维质子交换、退火处理进而形成MgO:PPLN脊波导。本发明只需铌酸锂一种晶体材料，降低了器件的材料成本；且制备工艺简单、性能稳定、成本低廉，在激光变频领域具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 质子 交换 mgo ppln 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
二维质子交换MgO:PPLN脊波导的制备方法，其特征在于，包括如下步骤； 步骤1，抛光晶体端面； 步骤2，切割晶体+z表面形成脊波导，所述脊波导的宽度为8‑20μm，切割深度为30μm； 步骤3，在衬底上，脊波导上表面、两个侧面上镀金属保护膜； 步骤4，利用精密位移控制器控制脊波导进入清洗液的深度，使脊波导部分充分浸入清洗液并确保衬底部分金属膜与清洗液不接触，清洗掉脊波导上表面以及两个侧面的金属保护膜； 步骤5，对脊波导进行质子交换、退火处理； 步骤6，清洗衬底表面金属膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信息工程大学，未经南京信息工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310371386.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LED球泡灯
- 下一篇：具有主动式增压能力的深冷液体输送及增压系统
