[发明专利]板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置

摘要

发明提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。根据本发明，首先，将玻璃板以靠基座放置的方式搭载于基座。接着，获取坐标原点。即，获取对玻璃板的四个角部中的一个角部照射来自激光指针的点光的位置作为坐标原点。接着，使与基座相对置地配置的观察光学部沿着滑轨水平移动，并且使基座升降移动，通过观察光学部发现搭载于基座的玻璃板的缺陷。接着，从激光指针向由观察光学部发现的缺陷的位置照射点光。而且，通过控制部计算点光在玻璃板的表面上的照射位置的坐标位置并存储到RAM。

主权项

一种板状体的缺陷检查方法，其特征在于，具备以下步骤：成形步骤，形成板状体；第一缺陷检查步骤，通过摄像单元检查在上述成形步骤中形成的上述板状体的表面的缺陷；以及第二缺陷检查步骤，使用检查单元检查在上述第一缺陷检查步骤检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。