[发明专利]制备三氯氢硅的方法有效
| 申请号： | 201310373751.3 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103449446A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 张升学;万烨;严大洲;毋克力;肖荣辉;汤传斌;杨永亮 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了制备三氯氢硅的方法，该方法包括：使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得三氯氢硅。利用该方法能够有效地制备获得三氯氢硅，并且该方法工艺简单、安全、节能环保、成本低，且生产的三氯氢硅纯度高，能够有效用于电子级多晶硅的生产，产生的尾气和废渣能够被再次利用，从而达到环保要求。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 三氯氢硅 方法 | ||
【主权项】：
一种制备三氯氢硅的方法，其特征在于，包括：使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得三氯氢硅。
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