[发明专利]光学式位移计及光学式位移运算方法有效
| 申请号： | 201310375884.4 | 申请日： | 2013-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN103673888A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 千田直道;和田健一郎 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学式位移计，其具有：光源，其照射包含多个波长的第1光；物镜，其将光源照射的第1光向样品照射，以使得多个波长中的每个，在光轴上的不同位置合焦；分离部，其对来自样品的反射光中通过物镜的第2光进行分离，而射出第3光；光学元件，其射出使分离部射出的第3光产生色差及像散而得到的第4光；多个检测部，其对光学元件射出的第4光进行检测；以及运算部，其基于多个检测部检测出的第4光，对从基准面起的样品的高度进行运算。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位移 运算 方法 | ||
【主权项】：
一种光学式位移计，其具有：光源，其照射包含多个波长的第1光；物镜，其将前述光源照射的前述第1光向样品照射，以使得前述多个波长中的每个，在光轴上的不同位置合焦；分离部，其对来自前述样品的反射光中通过前述物镜的第2光进行分离，而射出第3光；光学元件，其射出使前述分离部射出的前述第3光产生色差及像散而得到的第4光；多个检测部，其对前述光学元件射出的前述第4光进行检测；以及运算部，其基于前述多个检测部检测出的前述第4光，对从基准面起的前述样品的高度进行运算。
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