[发明专利]一种柔性吸盘有效
申请号: | 201310376681.7 | 申请日: | 2013-08-27 |
公开(公告)号: | CN104423171A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 方洁;夏海 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出一种柔性吸盘,包括上表面凸点和下表面凸点,上下表面为环形阵列的凸点定位面,其特征在于:在上、下表面凸点与凸点之间还开有凹槽,在吸盘的上下表面凸点与凸点之间形成柔性铰链结构,使柔性吸盘的弯曲刚度小于硅片的弯曲刚度。本发明改进了现有的吸盘形态特征,整体厚度为2~6mm的吸盘也可以具有比硅片小的弯曲刚度。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 吸盘 | ||
【主权项】:
一种柔性吸盘,包括上表面凸点和下表面凸点,上下表面为环形阵列的凸点定位面,其特征在于:在上、下表面凸点与凸点之间还开有凹槽,在吸盘的上下表面凸点与凸点之间形成柔性铰链结构,使柔性吸盘的弯曲刚度小于硅片的弯曲刚度。
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