[发明专利]一种柔性吸盘有效
| 申请号： | 201310376681.7 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104423171A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 方洁;夏海 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种柔性吸盘，包括上表面凸点和下表面凸点，上下表面为环形阵列的凸点定位面，其特征在于：在上、下表面凸点与凸点之间还开有凹槽，在吸盘的上下表面凸点与凸点之间形成柔性铰链结构，使柔性吸盘的弯曲刚度小于硅片的弯曲刚度。本发明改进了现有的吸盘形态特征，整体厚度为2~6mm的吸盘也可以具有比硅片小的弯曲刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 吸盘 | ||
【主权项】：
一种柔性吸盘，包括上表面凸点和下表面凸点，上下表面为环形阵列的凸点定位面，其特征在于：在上、下表面凸点与凸点之间还开有凹槽，在吸盘的上下表面凸点与凸点之间形成柔性铰链结构，使柔性吸盘的弯曲刚度小于硅片的弯曲刚度。
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