[发明专利]静电吸盘

摘要

本发明提供一种静电吸盘，其能够提高内部电极层与陶瓷电介体基板的贴紧性，能够提高内部电极层的导通性。具体而言，其特征为，具备：陶瓷电介体基板，其为多结晶陶瓷烧结体，具有放置处理对象物的第1主面和第1主面相反侧的第2主面；及电极层，内设于陶瓷电介体基板的第1主面与第2主面之间，一体烧结于陶瓷电介体基板，陶瓷电介体基板具有：第1电介层，位于电极层与第1主面之间；及第2电介层，位于电极层与第2主面之间，电极层具有：第1部分，具有导电性；及第2部分，将第1电介层与第2电介层结合起来，第2部分所含有的结晶的平均粒径小于陶瓷电介体基板所含有的结晶的平均粒径。

主权项

一种静电吸盘，其特征为，具备：陶瓷电介体基板，其为多结晶陶瓷烧结体，具有放置处理对象物的第1主面和所述第1主面相反侧的第2主面；及电极层，内设于所述陶瓷电介体基板的所述第1主面与所述第2主面之间，一体烧结于所述陶瓷电介体基板，所述陶瓷电介体基板具有：第1电介层，位于所述电极层与所述第1主面之间；及第2电介层，位于所述电极层与所述第2主面之间，所述电极层具有：第1部分，具有导电性；及第2部分，将所述第1电介层与所述第2电介层结合起来，所述第2部分所含有的结晶的平均粒径小于所述陶瓷电介体基板所含有的结晶的平均粒径。