[发明专利]一种矩形平面磁控溅射阴极

摘要

本发明涉及磁控溅射镀膜生产设备技术领域，具体来说是一种矩形平面磁控溅射阴极，包括中靶材压条、中压条、边靶材压条、边压条、背板、冷却板、阴极座、支撑块、磁轭、中立柱、中磁铁、中磁靴、边磁铁、边磁靴和靶材，其特征在于阴极座为不导磁的不锈钢材料，阴极座内设有磁轭，磁轭为高导磁材料并通过螺栓和阴极座固定在一起，磁轭上设有磁铁组件，阴极座宽度大于两侧边磁铁的总跨度，靶材的总跨度大于边磁铁的总跨度。本发明同现有技术相比，将靶材第一次安装后，经过溅射，刻蚀区域位于靶材的一侧，然后将靶材水平旋转180°再重新安装在阴极上，进行第二次溅射，使两次的刻蚀区域恰好连接成一个较大的刻蚀区域，从而提高靶材的利用率。

主权项

一种矩形平面磁控溅射阴极,包括中靶材压条(1)、中压条(2)、边靶材压条(3)、边压条(4)、背板(5)、冷却板(6)、阴极座(7)、支撑块(8)、磁轭（9）、中立柱（10）、中磁铁（11）、中磁靴（12）、边磁铁（13）、边磁靴（14）和靶材（15），其特征在于阴极座(7)为不导磁的不锈钢材料，阴极座内设有磁轭(9)，磁轭(9)为高导磁材料并通过螺栓和阴极座(7)固定在一起，磁轭(9)上设有磁铁组件，所述的磁铁组件包括四列磁铁，中部两列为中磁铁，极性相同；两侧为边磁铁，极性相同，中磁铁和边磁铁极性相反；磁铁上部设有磁靴，磁铁组件顶部设有冷却板，冷却板顶部设有背板，背板上部设有靶材，所述的阴极座（7）宽度大于两侧边磁铁的总跨度，靶材的总跨度大于边磁铁的总跨度。