[发明专利]一种偏晶向重掺单晶的拉制方法有效
| 申请号： | 201310381232.1 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN103436953A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陈澄;张雪囡;张长旭;朱鹏浩;张磊;刘一波;李亚哲 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/36 | 分类号： | C30B15/36;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种偏晶向重掺单晶的拉制方法，包括装料、装入偏晶向籽晶、抽空、化料、掺杂、稳温、引晶、扩肩、转肩、等径和收尾等过程，上述拉制方法使用偏晶向籽晶拉制单晶。本发明利用简单的方法有效降低了重掺单晶的RRV，改善重掺单晶的径向电阻率均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重掺单晶 拉制 方法 | ||
【主权项】：
一种偏晶向重掺单晶的拉制方法，其特征在于：使用偏晶向籽晶拉制重掺单晶。
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