[发明专利]一种柱形体侧柱面镀膜装置及真空镀膜设备

摘要

本发明公开了一种柱形体侧柱面镀膜装置及真空镀膜设备，该柱形体侧柱面镀膜装置包括组合架、用于把组合架安装在真空镀膜设备上的固定支撑轴、用于与真空镀膜设备的水平旋转机构连接的衔接件、传动轴、转动轴和用于将水平旋转机构的水平旋转转换成转动轴的自转的换向单元；传动轴的第一端通过衔接件与水平旋转机构连接；传动轴的第二端通过换向单元与转动轴连接转；转动轴安装在组合架上且其内部可用于放柱形体样品；转动轴的侧柱面上的开口与需要镀膜的部分对应设置。本发明通过换向单元将水平旋转机构的水平旋转转换成转动轴的自转，使得柱形体侧柱面镀膜旋转更加稳定，保证了同一横截面薄膜的均匀性。

主权项

一种柱形体侧柱面镀膜装置，其特征在于，所述柱形体侧柱面镀膜装置包括组合架、用于把所述组合架安装在真空镀膜设备上的固定支撑轴、用于与所述真空镀膜设备的水平旋转机构连接的衔接件、传动轴、转动轴和用于将所述水平旋转机构的水平旋转转换成所述转动轴的自转的换向单元；所述传动轴的第一端通过所述衔接件与所述水平旋转机构连接；所述传动轴的第二端通过所述换向单元与所述转动轴连接转；所述转动轴安装在所述组合架上；所述转动轴的内部为用于放柱形体样品的空腔结构；所述转动轴的一端形有开口；所述开口与所述柱形体样品上需要镀膜的部分对应设置。