[发明专利]掺铝氧化锌薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种掺铝氧化锌薄膜及其制备方法。该掺铝氧化锌薄膜的制备方法包括：将摩尔比为95～99.5:5～0.5的锌源化合物与铝源化合物、溶剂、稳定剂混合搅拌，静置陈化，得到凝胶；将该凝胶在基板上涂膜，干燥，预热处理，然后通入H2+N2、N2、Ar、空气中的任一种气氛中，进行热处理和冷却处理后，得到所述掺铝氧化锌薄膜。该溶胶-凝胶方法中的热处理和冷却处理步骤在惰性或者还原性气氛下进行，惰性或还原气体通过阻止在高温下游离出来的氧与在冷却时与Zn、Al复合，从而增加氧空位，提高AZO薄膜的导电性。上述方法制得AZO薄膜结构稳定、具有良好的透光性、导电性强。

主权项

一种掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将稳定剂分散于锌源化合物的溶液中后，加入铝源化合物进行搅拌，静置陈化，得到掺铝氧化锌凝胶；其中，所述锌源化合物与铝源化合物的摩尔比为95～99.5:5～0.5；将所述凝胶在基板上涂膜，干燥，预热处理，得到掺铝氧化锌薄膜前驱体；将所述薄膜前驱体在H2与N2的混合气体、N2、Ar、空气中的任一种气氛中进行热处理后冷却，得到所述掺铝氧化锌薄膜。