[发明专利]电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的方法及其装置

摘要

本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的方法及其装置，本发明打破了传统的电子束熔炼模式，在熔化坩埚的熔化池内只进行熔化和初步的电子束熔炼，而在导流区域内进行集中的电子束熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼效果更好，由于导流区域是向下倾斜的构造，经熔炼提纯后的硅液流入凝固坩埚内，在凝固坩埚内进行堆积，最后取出。本发明的优点在于：在熔炼过程中实现连续化除磷的目的，并且电子束熔炼提纯效果更好，得到的硅锭磷含量低于0.000035%。采用该方法和装置，生产效率能够提高20%左右，整个生产过程中的能量消耗减少20%以上。

主权项

一种电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的方法，其特征在于对电子束熔炼炉进行抽真空，然后通过送料机构向带有水冷的熔化坩埚内持续送料，通过熔化用电子枪对硅料进行熔化，不断增加的硅液达到熔化坩埚口时，通过导流的方式流入到电子束熔炼炉内的凝固坩埚，在导流区域内通过熔炼用电子枪进行电子束熔炼，当凝固坩埚达到承载量之后，停止送料机构送料，关闭熔化用电子枪和熔炼用电子枪，将凝固坩埚中的硅锭取出即可。