[发明专利]一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置有效
| 申请号： | 201310384858.8 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN103439086A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 聂云峰;相里斌;周锦松;吕群波;黄旻 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;陈亮 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置，首先将单色平面光射入到待测曲面棱镜后，形成球面波与平面波的叠加；再通过平面棱镜调整波面的传播方向，并通过校正镜组校正所述待测曲面棱镜成像引入的像差；由图像接收器件接收校正处理后的图像，所述图像接收器件接收到的是衍射造成的点扩散图样；根据所述图像接收器件接收到的图像判别所述待测曲面棱镜是否达到精度要求。该检测方法采用非接触测量，不损伤元件加工面，通过图像即可判定加工是否合格，可作为在线快速、批量检测Fery棱镜的有效手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 检测 曲面 棱镜 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种非接触式检测曲面棱镜的方法，其特征在于，所述方法包括：将单色平面光射入到待测曲面棱镜后，形成球面波与平面波的叠加；再通过平面棱镜调整波面的传播方向，并通过校正镜组校正所述待测曲面棱镜成像引入的像差；由图像接收器件接收校正处理后的图像，所述图像接收器件接收到的是衍射造成的点扩散图样；根据所述图像接收器件接收到的图像判别所述待测曲面棱镜是否达到精度要求。
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