[发明专利]层叠封装接合结构在审

专利信息
申请号: 201310385077.0 申请日: 2013-08-29
公开(公告)号: CN103915413A 公开(公告)日: 2014-07-09
发明(设计)人: 林俊成;洪瑞斌;蔡柏豪 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供了用于在管芯封装件中形成具有多个导电层和/或凹槽的封装通孔(TPV)和利用TPV形成具有接合结构的层叠封装(PoP)器件的机制的不同实施例。将多个导电层中的一层用作TPV的主导电层的保护层。当暴露于焊料时,保护层不容易氧化并具有金属间化合物(IMC)的较低的形成速率。用其他管芯封装件的焊料填充管芯封装件的TPV中的凹槽并且形成的IMC层在TPV的表面下方以加强接合结构。本发明提供了叠层封装接合结构。
搜索关键词: 层叠 封装 接合 结构
【主权项】:
一种半导体管芯封装件,包括:半导体管芯;模塑料,至少部分地封装所述半导体管芯;封装通孔(TPV),形成在所述模塑料中,所述TPV设置为邻近所述半导体管芯,所述TPV包括第一导电层和第二导电层,并且所述第一导电层填充所述TPV的第一部分而所述第二导电层填充所述TPV的第二部分;以及重分布结构,所述重分布结构包括重分布层(RDL),所述TPV和所述半导体管芯电连接至所述RDL,并且所述RDL能够实现所述半导体管芯的扇出。
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