[发明专利]一种新型化学机械研磨用研磨剂无效
| 申请号： | 201310387801.3 | 申请日： | 2013-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103436228A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张竹香 | 申请（专利权）人： | 青岛承天伟业机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266199 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种新型化学机械研磨用研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：氧化锆5-7份，二氧化硅11-21份，过氧化氢5-9份，水杨酸盐15-25份，乙烯基双硬脂酰胺7-16份，硬脂酸单甘油酯9-13份，三硬脂酸甘油酯9-14份，还原剂1-3份，柔软剂5-8份，除杂剂7-10份，处理剂11-18份，二氧化钛3-5份，硬脂酸钙1-3份，硬脂酸4-10份，聚丙烯酯5-9份。本发明的有益效果是：腐蚀速度低，研磨效果好，对半导体损伤小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 化学 机械 研磨 研磨剂 | ||
【主权项】：
一种新型化学机械研磨用研磨剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：氧化锆5‑7份，二氧化硅11‑21份，过氧化氢5‑9份，水杨酸盐15‑25份，乙烯基双硬脂酰胺7‑16份，硬脂酸单甘油酯9‑13份，三硬脂酸甘油酯9‑14份，还原剂1‑3份，柔软剂5‑8份，除杂剂7‑10份，处理剂11‑18份，二氧化钛3‑5份，硬脂酸钙1‑3份，硬脂酸4‑10份，聚丙烯酯5‑9份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛承天伟业机械制造有限公司，未经青岛承天伟业机械制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310387801.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
