[发明专利]电容式微机械风速风向传感器有效
| 申请号： | 201310390353.2 | 申请日： | 2013-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN103439527A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王立峰;黄庆安;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08;G01P13/02;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211103 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式微机械风速风向传感器，包括衬底、锚区、四个弹簧结构，以及四个测风电容。锚区和四个测风电容分别设置在衬底的表面，四个测风电容分别为结构相同的上测风电容、下测风电容、左测风电容，以及右测风电容，并且四个测风电容分别分布在锚区的上下左右四个方向。其中，四个测风电容分别由一组弧形可动电极和弧形固定电极组成，上测风电容的弧形可动电极内凹面朝右，右测风电容的弧形可动电极内凹面朝下，下测风电容的弧形可动电极内凹面朝左，左测风电容的弧形可动电极内凹面朝上；四个测风电容分别通过一个弹簧结构连接到所述锚区。本发明能够降低微机械风速风向传感器的功耗的同时提高微机械风速风向传感器的响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机械 风速 风向 传感器 | ||
【主权项】：
电容式微机械风速风向传感器，其特征在于：包括衬底(1)、锚区(2)、四个弹簧结构(3)，以及四个测风电容(4)；所述锚区(2)和四个测风电容(4)分别设置在所述衬底(1)的表面；所述四个测风电容(4)分别为结构相同的上测风电容、下测风电容、左测风电容，以及右测风电容，并且所述四个测风电容(4)分别分布在所述锚区(2)的上下左右四个方向；其中，所述四个测风电容(4)分别由一组弧形可动电极和弧形固定电极组成，所述上测风电容的弧形可动电极内凹面朝右，所述右测风电容的弧形可动电极内凹面朝下，所述下测风电容的弧形可动电极内凹面朝左，所述左测风电容的弧形可动电极内凹面朝上；所述四个测风电容(4)分别通过一个弹簧结构(3)连接到所述锚区(2)。
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