[发明专利]液晶排放量测量单元、排放量测量方法以及基板处理装置

摘要

一种液晶排放量测量单元以及使用液晶排放量测量单元向基板排放液晶的基板处理装置。液晶排放量测量单元用于测量以喷墨式排出液晶，PI以及CF等液滴的喷嘴头的液晶排放量。基板处理装置，包括：基板支承构件,用于支承基板；喷嘴单元，包括喷嘴头，在喷嘴头设有向基板喷射处理液的多个喷嘴；以及液晶排放量测量单元，具有测量从喷嘴排出的处理液的排放量的测量构件，液晶排放量测量单元包括：回收盒，在其内部具有收容排出的处理液的存储空间；机体，设在回收盒的上方，在机体的内部形成有多个通道；以及排放量测量仪，其数量与各通道对应，用于测量通过各通道的处理液的量，各通道从机体上表面延伸至底面形成，通道与存储空间相通。

主权项

一种基板处理装置，包括：基板支承构件,用于支承基板；喷嘴单元，包括喷嘴头，在所述喷嘴头设有向所述基板喷射处理液的多个喷嘴；以及液晶排放量测量单元，具有测量从所述喷嘴排出的所述处理液的排放量的测量构件，所述液晶排放量测量单元包括：回收盒，在其内部具有收容排出的处理液的存储空间；机体，设在所述回收盒的上方，在所述机体的内部形成有多个通道；以及排放量测量仪，其数量与所述各通道对应，用于测量通过所述各通道的处理液的量，所述各通道从所述机体上表面延伸至底面形成，所述通道与所述存储空间相通。