[发明专利]原子层沉积装置

摘要

本发明的原子层沉积装置，包括供气管和吸气管，该供气管具备：供给管体，在其内部沿长度方向形成有供给气体的供气流道；排气部，沿供给管体的长度方向形成于供给管体，并与供气流道连通；该吸气管具备：吸入管体，在其内部沿长度方向形成有吸入气体的吸气流道；吸气部，沿吸入管体的长度方向形成于吸入管体，并与吸气流道连通；供气管和吸气管可以在与基板对供气管和吸气管的相对运动方向交叉的方向上彼此分开形成。本发明一实施例中的原子层沉积装置，分开形成用于供给源气体或反应气体的供给管和用于吸入除去残留气体的吸气管，从而不仅能够减少气体使用量，减少沉积原子层的基板轨迹，还能够简化实现气体供给及吸入动作的机械结构。

主权项

一种原子层沉积装置，其包括供气管和吸气管，该供气管具备：供给管体，在其内部沿长度方向形成有用于供给气体的供气流道；排气部，沿所述供给管体的长度方向形成于所述供给管体，并与所述供气流道连通；该吸气管具备：吸入管体，在其内部沿长度方向形成有用于吸入气体的吸气流道；吸气部，沿所述吸入管体的长度方向形成于所述吸入管体，并与所述吸气流道连通；所述供气管和所述吸气管在与基板对所述供气管和所述吸气管的相对运动方向交叉的方向上，彼此分开形成。