[发明专利]吸附台有效
申请号: | 201310395196.4 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN103681436A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 白户顺;工藤隆善 | 申请(专利权)人: | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;G01R31/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种吸附台。吸附台用于保持显示面板,其包括:支承台,其具有开设有负压开口的吸附面;多个升降条,其配置为横穿吸附面;多个凹部,该多个凹部彼此并行地设置在吸附面上,以便将升降条收容在支承台内而使升降条不会自吸附面突出;支承机构,其在支承台的侧部中的、多个凹部敞开的部位以能够使升降条升降的方式支承升降条;升降装置,其与支承机构相关联地设置,以便使升降条在自凹部突出的上升位置与收容在凹部中的下降位置之间升降。支承机构包括在升降条的两端支承该升降条的支柱、被该支柱支承的导向销、以及用于容许该导向销贯穿的设于升降条的槽。 | ||
搜索关键词: | 吸附 | ||
【主权项】:
一种吸附台,其用于保持显示面板,其中,该吸附台包括:支承台,其具有开设有负压开口的吸附面;多个升降条,其以横穿上述吸附面的方式配置;多个凹部,该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上,以便将上述升降条收容在上述支承台内而使上述升降条不会自上述吸附面突出;支承机构,其在上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条;升降装置,其与上述支承机构相关联地设置,以便使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收容在上述凹部中的下降位置之间升降,上述支承机构包括:一对支柱,其用于在上述升降条的两端部支承该升降条;导向销,其支承于该支柱和上述升降条中的任意一方;槽,其设于上述支柱和上述升降条中的另一方,用于容许该导向销贯穿。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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