[发明专利]用于晶圆密封环的方法和装置

摘要

本发明公开的一种方法包括可以在晶圆上形成晶圆密封环，该晶圆密封环具有带图案密度的图案结构。晶圆密封环图案结构可以包括具有宽度和间隔约等于晶圆上管芯接合环的宽度和间隔的多条线。具有形成在其上的晶圆密封环的晶圆可以接合至不具有晶圆密封环的晶圆。一对晶圆可以形成为具有以相应的方式形成的对应晶圆密封环。可以将该对晶圆接合在一起并且具有对准并接合在一起的晶圆密封环以在接合的晶圆之间形成密封环结构。本发明还公开了用于晶圆密封环的方法和装置。

主权项

一种方法，包括：在第一晶圆的管芯区域中，在所述第一晶圆上形成多个第一管芯；在所述第一晶圆上形成多个第一管芯接合环，所述多个第一管芯接合环具有第一宽度和第一间隔；以及在所述第一晶圆的密封环区域中，在所述第一晶圆上形成第一晶圆密封环，所述第一晶圆密封环包括多条具有第二宽度和第二间隔的线，其中所述多个第一管芯接合环的第一宽度和第一间隔的截面约等于所述第一晶圆密封环的第二宽度和第二间隔的截面。