[发明专利]一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版及制作方法有效
| 申请号： | 201310400757.5 | 申请日： | 2013-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103451598A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 杜卫冲;韩建崴;梅文辉 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人： | 钟作亮 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版及制作方法，其中装置包括在金属基板上设置多个通孔形成的边框，在边框的上表面电铸有一层精细掩膜从而使精细掩膜与边框结合为一体，所述精细掩膜划分有精细结构部分形成的图形区域和边框区域，所述图形区域与边框上的通孔相对应。而且制作方法步骤如下：A.准备金属基板：将因瓦合金板或不锈钢板开料，使之符合设计尺寸，形成金属基板。B.制作精细掩膜：在金属基板上涂覆光阻层，将需要的图案显影在金属基板上的光阻层，再依次电铸上金属衬底层和热膨胀系数低的金属层，形成掩膜版的精细掩膜。C.腐蚀基板：在精细掩膜上划有图形区域，通过化学刻蚀的方法将图形区域背部对应片区的金属基板腐蚀掉，形成通孔，留下外部边框和内部分隔框，使外部边框和内部分隔框共同支撑起精细掩膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 显示 面板 生产 新型 精细 金属 掩膜版 制作方法 | ||
【主权项】：
一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版，其特征在于：包括有在金属基板上设置多个通孔（2）形成的边框（1），在边框（1）的上表面电铸有一层精细掩膜（4）从而使精细掩膜（4）与边框（1）结合为一体，所述精细掩膜（4）划分有精细结构部分形成的图形区域（41）和边框区域（42），所述图形区域（41）与边框上的通孔（2）相对应。
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