[发明专利]一种镀锌层厚度的测量方法

摘要

本发明提供一种镀锌层厚度的测量方法，将镀锌板样品置于镀膜机中，用碳棒对样品表面进行喷碳处理；将样品放入电子探针样品室，并抽真空，观察样品的背散射电子像，使得镀层厚度占到扫描范围的1/2，从距离镀层外侧1/2镀层厚度的地方开始，垂直镀层向基体方向至距离镀层另一侧1/2镀层厚度为止，采用线扫描得到成分分析曲线，以测得曲线陡峭边处强度最大值的50%作为镀层的两个边界点，测量镀层的厚度；选取不同区域测量若干点的平均值即为镀锌层厚度。本发明通过样品的成分分析曲线测量镀层厚度，边界清晰，可有效解决由于试样表面粗糙、形状复杂、衬度不明显等原因造成的误差，提高镀锌板镀锌层厚度测量准确度。

主权项

一种镀锌层厚度的测量方法，其特征在于，具体方法和步骤为：（1）选取镀锌板试样10×10mm，经过镶嵌、磨制、抛光制样后，用超声波清洗，去除样品表面残留的污染物；（2）将样品置于镀膜机中，选择直径1.5‑2mm碳棒，喷镀时间3‑5s，对样品表面进行喷碳处理，增加镶嵌样品的导电性；（3）在200‑500倍光学显微镜下观察样品表面，确认标样无污染及其他缺陷；（4）将样品放入电子探针样品室，并抽真空，选择加速电压10‑20kV，束流10‑50nA，束斑尺寸1‑5μm，作为分析参数；（5）观察样品的背散射电子像，选择1000倍放大倍数，使得镀层厚度占到扫描范围的1/2，提高测量的精度；（6）从距离镀层外侧1/2镀层厚度的地方开始，垂直镀层向基体方向至距离镀层另一侧1/2镀层厚度为止，采用线扫描模式得到成分分析曲线，根据得到的成分曲线，以测得曲线陡峭边处强度最大值的50%作为镀层的两个边界点，测量镀层的厚度；（7）选取不同区域测量若干点，计算出的平均值即为镀锌层厚度。