[发明专利]一种石英承载舟无效
| 申请号： | 201310401683.7 | 申请日： | 2013-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN103474382A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 郭城;吕明;徐明星;郭英云;纪大鹏 | 申请（专利权）人： | 济南科盛电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 谢省法 |
| 地址： | 250200 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英承载舟，包括有舟体及设置在舟体两端的拉环，舟体包括下刻槽石英棒及与之相连的上支撑石英棒、中支撑石英棒、下支撑石英棒、承重石英棒等组成，其特征在于：在所述舟体上设置上刻槽石英棒、在所述上刻槽石英棒、下刻槽石英棒之间设置侧支撑石英弯板。本发明的有益效果是：设置了上刻槽石英棒，在上下刻槽石英棒之间加强了支撑，增加了舟体的稳固性，避免了在进出炉过程中易出现断裂的现象，增强石英承载舟的载重能力，降低石英承载舟的破损几率，延长石英承载舟的使用寿命。本发明具有使用效果好、结构简单、成本低廉之优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 承载 | ||
【主权项】：
一种石英承载舟，包括有舟体及设置在舟体两端的拉环，舟体包括下刻槽石英棒及与之相连的上支撑石英棒、中支撑石英棒、下支撑石英棒、承重石英棒等组成，其特征在于：在所述舟体上设置上刻槽石英棒、在所述上刻槽石英棒、下刻槽石英棒之间设置侧支撑石英弯板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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