[发明专利]生长蓝宝石单晶的设备及方法无效
| 申请号： | 201310405030.6 | 申请日： | 2013-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN103422163A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 华庆;茅陆荣;李严州;程佳彪;宋瑜 | 申请（专利权）人： | 上海森松压力容器有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 200137 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生长蓝宝石单晶的设备及方法，包括一炉体，一真空系统、一提拉系统、一电源以及设置于所述炉体的一加热系统和一冷却系统；所述真空系统与所述炉体的内腔连通；所述提拉系统设置于所述炉体的上方；所述提拉系统包括提拉动力装置以及与所述提拉动力装置连接的籽晶杆；还包括一控制系统，所述控制系统与所述电源、所述加热系统、所述冷却系统和所述提拉系统电连接；所述加热系统与所述炉体之间设置有保温层。由于采用了本发明的一种生长蓝宝石单晶的设备及方法，能够有效的调控温度梯度和生长前沿固液界面状态，避免气泡和降低缺陷密度，由此获得高质量的蓝宝石单晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 蓝宝石 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种生长蓝宝石单晶的设备，包括一炉体，一真空系统、一提拉系统、一电源以及设置于所述炉体的一加热系统和一冷却系统；所述真空系统与所述炉体的内腔连通；所述提拉系统设置于所述炉体的上方；所述提拉系统包括提拉动力装置以及与所述提拉动力装置连接的籽晶杆；还包括一控制系统，所述控制系统与所述电源、所述加热系统、所述冷却系统和所述提拉系统电连接，其特征在于，所述的加热系统包括一加热器、一坩埚和一支撑结构，所述支撑结构包括一支撑柱，所述加热器设置于所述支撑结构顶部，所述坩埚设置于所述加热器内。
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