[发明专利]晶片位置检测装置

摘要

本发明涉及一种晶片位置检测装置。其包括多个检测单元，每个检测单元用以检测其与晶片之间的相对位置关系；晶片位置检测装置根据多个检测单元与晶片的预设标准位置之间的相对位置关系，以及多个检测单元检测的多个检测单元与晶片之间的相对位置关系，判断晶片是否处于晶片的预设标准位置。本发明提供的晶片位置检测装置，其通过每个检测单元检测其与晶片之间的相对位置关系，并结合多个检测单元与晶片的预设标准位置之间的相对位置关系，可以确定晶片是否处于晶片的预设标准位置，使操作人员可以在晶片位置检测装置检测出晶片未处于晶片的预设标准位置时对晶片的位置进行修正，防止晶片在其传输过程中从机械手上脱落。

主权项

1.一种晶片位置检测装置，其特征在于，包括多个检测单元，每个所述检测单元用以检测其与晶片之间的相对位置关系；所述晶片位置检测装置根据所述多个检测单元与所述晶片的预设标准位置之间的相对位置关系，以及所述多个检测单元检测的所述多个检测单元与晶片之间的相对位置关系，判断所述晶片是否处于所述晶片的预设标准位置；所述多个检测单元包括：至少两个第一检测单元和至少一个第二检测单元；所述每个第一检测单元对应于所述晶片的预设标准位置的内部，且靠近其边缘的位置；所述每个第二检测单元对应于所述晶片的预设标准位置的外部，且靠近其边缘的位置；并且所述晶片的预设标准位置的圆心位于所述第一检测单元和第二检测单元依次连接形成的多边形外部；或至少两个第一检测单元和至少一个第二检测单元；所述每个第一检测单元对应于所述晶片的预设标准位置的外部，且靠近其边缘的位置；所述每个第二检测单元对应于所述晶片的预设标准位置的内部，且靠近其边缘的位置；并且所述晶片的预设标准位置的圆心位于所述第一检测单元和第二检测单元依次连接形成的多边形外部。