[发明专利]电容器阴极箔结构及其制造方法有效
申请号: | 201310407796.8 | 申请日: | 2013-09-10 |
公开(公告)号: | CN103545110A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 林清封;陈明宗;王懿颖 | 申请(专利权)人: | 钰邦电子(无锡)有限公司 |
主分类号: | H01G9/042 | 分类号: | H01G9/042;H01G9/045 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 刘洪京 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种电容器阴极箔结构之制造方法,包括以下之步骤:首先,提供一基箔,并将该基箔置入一反应腔室;接着,进行一加热程序,将该基箔加热到400℃至1000℃间之一温度;之后,将碳前驱物通入该反应腔室;之后,进行一冷却程序,将该基箔冷却低于100℃之一温度,以沉积一石墨烯层于该基箔之表面,并且该石墨烯层系由复数层石墨烯薄膜相互堆栈所构成;及最后,将一抗氧化层沉积于石墨烯层上。 | ||
搜索关键词: | 电容器 阴极 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种电容器阴极箔结构之制造方法,包括以下之步骤:提供一基箔,并将该基箔置入一反应腔室;进行一加热程序,将该基箔加热到400℃至1000℃间之一温度;将碳前驱物通入该反应腔室;以及进行一冷却程序,将该基箔冷却低于100℃之一温度,以沉积一石墨烯层于该基箔之表面,并且该石墨烯层系由复数层石墨烯薄膜相互堆栈所构成。
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