[发明专利]硅料清洗方法无效
申请号: | 201310408998.4 | 申请日: | 2013-09-10 |
公开(公告)号: | CN103464413A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 刘耀峰;潘振东 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 高玉滨 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅料清洗方法,包括以下步骤:⑴、配制浓度为5~11%的氢氧化钠溶液,加热至50~90℃;⑵、将需要清洗的硅料置于步骤⑴氢氧化钠溶液中2~3分钟,捞出硅料;⑶、依次用浓度为20~30%的盐酸溶液和纯水冲洗硅料。采用碱液来清洗硅料,减少废气的排放量;不产生氮氧化合物,减少对环境的污染;减少酸的用量,降低了生产成本;现在一吨硅料需要氢氧化钠10Kg,盐酸50kg。还降低了硅料的损耗,提高了操作人员的安全性。 | ||
搜索关键词: | 清洗 方法 | ||
【主权项】:
一种硅料清洗方法,包括以下步骤:⑴、配制浓度为5~11%的氢氧化钠溶液,加热至50~90℃;⑵、将需要清洗的硅料置于步骤⑴氢氧化钠溶液中2~3分钟,捞出硅料;⑶、依次用浓度为20~30%的盐酸溶液和纯水冲洗硅料。
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