[发明专利]基板清洁装置在审
| 申请号： | 201310412186.7 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN103658072A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李承俊;柳廷和;韩苏拉;申东明 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/08;B08B7/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 李文颖;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种基板清洁装置。该基板清洁装置包括用于传送基板的多个传送滚筒；将液体化学物供应到所述基板的第一表面的液体化学物供给器；其中所述液体化学物供给器包括壳体和清洁滚筒，该清洁滚筒被能旋转地安装在所述壳体内并且具有被配置为接触所述基板的上部分。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种基板清洁装置，包括：用于传送基板的多个传送滚筒；将液体化学物供应到所述基板的第一表面的液体化学物供给器；其中所述液体化学物供给器包括：壳体；和清洁滚筒，该清洁滚筒被能旋转地安装在所述壳体内并且具有被配置为与所述基板接触的上部分。
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