[发明专利]膜对准装置有效
申请号: | 201310412364.6 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN104183530B | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 柳廷和;李承俊 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 公开了一种膜对准装置。根据本发明的示例性实施方式的膜对准装置包括:支承固定件和至少一个膜按压单元,其中膜位于支承固定件上,膜按压单元设置成与支承固定件邻近,从而使膜的弯曲端部与支承固定件相接触。当膜与支承固定件紧密接触并且通过上述结构膜与支承固定件之间没有间隔时,执行位置对准操作,从而精确无误地执行膜的位置对准过程。 | ||
搜索关键词: | 对准 装置 | ||
【主权项】:
1.一种膜对准装置,包括:支承固定件,在其上用于设置膜;以及至少一个膜按压单元,设置成与所述支承固定件邻近,并使所述膜的弯曲端部与所述支承固定件紧密接触,其中所述膜按压单元包括:框架构件,包括以预定距离彼此间隔开的第一固定部分和第二固定部分,所述第一固定部分和所述第二固定部分均向上凸起;旋转构件,可旋转地联接至所述第一固定部分;以及驱动构件,在其一侧处可旋转地联接至所述第二固定部分并在其另一侧处可旋转地联接至所述旋转构件的一端,并生成能量以允许所述旋转构件枢转,从而使得所述旋转构件的另一端与所述膜相接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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