[发明专利]吸头清洁方法及使用该方法的粘片机

摘要

本发明提供不用进行增加新的单元，能够进行吸头的清洁，不会使异物飞散，也能够将粘着力强的异物切实地除去的吸头清洁方法及使用了该方法的粘片机。所述粘片机具备拾取装置、具有在上述拾取装置顶起的时刻从上述晶圆片吸附上述晶粒的吸头的粘接头部、以及控制上述拾取装置及上述粘接头部的控制部，通过使上述吸头移动到保持在上述晶圆环上的上述晶圆片的上述切割保护带的没有上述晶粒的位置而与上述切割保护带的粘结面接触，从而将附着在上述吸头顶端部的异物除去。

主权项

一种吸头清洁方法，其特征在于，具备以下步骤：将由切割保护带保持的晶圆片固定在晶圆环上的晶圆片固定步骤；执行粘片机的初始化、关于上述已固定的晶圆片的晶粒的映射数据的写入以及安装程序的写入的初始化步骤；读出吸头开始上述晶粒的拾取的开始位置的晶粒开始位置读出步骤；以上述晶粒开始位置为基准点读出位于上述切割保护带上的不存在晶粒的规定位置的吸头清洁位置决定步骤；使上述吸头移动到上述规定位置的移动步骤；使上述吸头紧贴于上述切割保护带上的上述规定位置的吸头清洁步骤；以及从上述晶粒开始位置拾取晶粒，执行晶粒粘接的晶粒粘接步骤，上述规定位置为俯视时上述晶圆片与上述晶圆环之间的位置，为上述切割保护带的保持有上述晶圆片的位置的边缘部，在上述规定位置将附着在上述吸头顶端部的异物除去。