[发明专利]一种微动变形像差校正装置有效
| 申请号： | 201310414874.7 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN104459986B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 王洪尊;彭云平;马很很 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微动变形像差校正装置，用于对一变形镜面形进行调节，其特征在于，包括一变形镜，该变形镜发生面形变化时补偿像差；若干驱动单元，该驱动单元分布于该变形镜边缘，用于从不同位置驱动该变形镜以发生面形变化；镜座，与该驱动单元连接，用于支撑该驱动单元及变形镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微动 变形 校正 装置 | ||
【主权项】：
一种微动变形像差校正装置，用于对一变形镜面形进行调节，其特征在于，包括：若干驱动单元，所述驱动单元分布于所述变形镜边缘，用于从不同位置驱动所述变形镜以发生面形变化；镜座，与所述驱动单元连接，用于支撑所述驱动单元及变形镜；其中，所述驱动单元均匀分布于所述变形镜边缘，所述每一驱动单元均包括温度控制器、导热块和双金属片，所述温度控制器吸热和放热，经所述导热块传递热量后改变所述双金属片的温度使其发生弯曲变形。
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