[发明专利]用于强流电子束能量沉积深度测量的薄片阵列式量热计

摘要

本发明提供的用于强流电子束能量沉积深度分布测量的薄片阵列式量热计，吸收电子束能量的薄片设计成了内半径沿轴向大小渐变的圆环形，两相邻薄片之间采用聚四氟乙烯环作为隔热材料，通过聚四氟乙烯螺钉将薄片和聚四氟乙烯环连接到石墨准直孔上，量热计末端开有透红外窗，在透红外窗外，通过红外相机拍摄薄片阵列的红外热辐射图像，并送入计算机进行图像数据处理，得到每层薄片上沉积的能量，给出所测电子束能量沉积深度分布。本发明解决了石墨薄片阵列量热计时间响应差，对薄片材料机械性能要求高的问题。

主权项

用于强流电子束能量沉积深度测量的薄片阵列式量热计，包括依次设置在电子束入射轴线上的准直单元、吸热单元和量热单元；其特征在于：所述准直单元为石墨准直孔；所述石墨准直孔的内径略大于电子束直径；所述吸热单元包括多层吸热薄片、设置在两相邻石墨烯薄片之间的聚四氟乙烯环；所述多层薄片中的第一层吸热薄片为圆形薄片，其余吸热薄片为环形薄片；所述环形薄片的内径依次增大；所述量热单元包括壳体、透红外窗、红外相机和计算机；所述壳体的一端密封固定在吸热单元的末端，其另一端与透红外窗密封连接；所述第一层吸热薄片、壳体和红外透窗构成真空腔体；所述红外相机设置在透红外窗的后方，所述红外相机和计算机相连。