[发明专利]一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201310416802.6 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103487155A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 余煜玺;李燕;伞海生 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01K7/00 | 分类号： | G01K7/00;C04B35/58;C04B35/622 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器及其制备方法，涉及温度传感器。所述温度传感器设有圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件，在圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件的表面设有耐高温金属层并形成谐振腔，在谐振腔表面设有槽天线。1）制备圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件；（1）先制备SiCN陶瓷素胚；（2）在惰性气体保护下，将SiCN陶瓷素胚热解，再退火处理后，得温敏元件SiCN非晶陶瓷体；2）在温敏元件SiCN非晶陶瓷体上表面的槽天线区域用聚酰亚胺胶带保护，在温敏元件SiCN非晶陶瓷体表面镀金属层，再将聚酰亚胺胶带去除后，所留区域即为收发电磁波信号的槽天线，得圆柱形SiCN陶瓷无线无源温度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sicn 陶瓷 无线 无源 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器，其特征在于设有圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件，在圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件的表面设有耐高温金属层并形成谐振腔，在谐振腔表面设有槽天线。
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