[发明专利]一种三轴微机械加速度计

摘要

本发明涉及一种三轴微机械加速度计，包括基板和固定安装在基板上的加速度计主体。加速度计主体包括质量块、z轴检测电极板和平面检测单元。其中平面检测单元由四个检测模块组成，且四个模块分别沿x轴和y轴分布在质量块的周边，平面检测单元包括谐振器、杠杆梁和牵引梁。z轴检测电极板固置在基板上对应于质量块的位置。本发明三轴加速度计采用变频率法和变电容法实现加速度测量，抗干扰信号能力强，同时布线方式简单，信号耦合小，具有较高的信噪比。本发明三轴加速度计具有体积小、集成度高、功耗小、适合大批量生产和成本低等优点；能实现良好的测量精度和灵敏度。

主权项

一种三轴微机械加速度计，其特征在于：包括基板（1）和固定安装在基板（1）上的加速度计主体（2）；所述加速度计主体（2）包括质量块（3）、z轴检测电极板（7）和平面检测单元，其中平面检测单元由四个检测模块组成，四个模块分别沿x轴和y轴分布在质量块（3）的周边，且分别沿x轴和y轴以基板（1）中心点对称均匀分布；所述平面检测模块包括谐振器、杠杆梁（5）和牵引梁（6），其中谐振器固定在基板（1）上，且与杠杆梁（5）相连，杠杆梁（5）一端固定在基板上，另一端与牵引梁（6）相连，牵引梁（6）一端与杠杆梁（5）相连，另一端与质量块（3）相连；所述z轴检测电极板（7）固置在基板（1）上对应于质量块（3）的位置。