[发明专利]激光加工装置有效
申请号: | 201310418771.8 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN103658978B | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 李道炯;李忠浩;尹盛湜;朴东真 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会 |
主分类号: | B23K26/067 | 分类号: | B23K26/067;B23K26/06;C23C14/04 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人: | 刘灿强,刘奕晴 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据本发明一实施例的激光加工装置可包括:激光发生器,用于产生激光束;衍射光学元件,将从所述激光发生器产生的激光束分为多个子激光束;激光束数量调整器,调整所述多个子激光束的数量。因此,根据本发明一实施例的激光加工装置通过设置将从激光发生器产生的激光束分为多个子激光束的衍射光学元件和调整多个子激光束的数量的激光束数量调整器,可提高加工对象物的加工速度,同时还可以迅速调整激光束的数量而在加工对象物上迅速形成多种多样的图案。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
一种激光加工装置,包括:激光发生器,用于产生激光束;衍射光学元件,将从所述激光发生器产生的激光束分为多个子激光束;激光束数量调整器,调整所述多个子激光束的数量,所述激光束数量调整器包括:激光束阻断器,阻挡所述多个子激光束中的一部分子激光束;位置调整器,调整所述激光束阻断器的位置。
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