[发明专利]真空执行器在线检测装置及其检测方法

摘要

本发明涉及一种真空执行器在线检测装置及其检测方法，特点是：提供一个基座，在基座上设置有定位支架，定位支架的周围设置有密封性能测试组件与位移监测组件。检测时，将真空执行器放置到定位支架上进行定位，采用密封性能测试组件与位移监测组件对真空执行器进行密封。之后，对真空执行器进行步进式充气，获取检测数据。最终，释放密封性能测试组件与位移监测组件，移除真空执行器。由此，能够采用步进式的阶段检测，获取不同工况时真空执行器内部的气压数据，进行全方位的检测，提高质检质量。再者，本发明构造简单，可通过后续的程序配合，满足流水线上在线检测的需要。

主权项

真空执行器在线检测装置，包括有基座，其特征在于：所述的基座上设置有定位支架，所述定位支架的周围设置有密封性能测试组件，所述的密封性能测试组件包括有主密封测试组件与副密封测试组件，所述定位支架的测试接口预留位置处设置有位移监测组件。