[发明专利]光刻环形照明模式产生装置有效
| 申请号： | 201310422536.8 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103472687A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张运波;曾爱军;王莹;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于投影光刻机的光刻环形照明模式产生装置，包括激光源，沿该激光源输出光束方向依次是第一透镜、第二透镜、锥形光束产生器件、平凸锥透镜，所述的平凸锥透镜固定在直线位移台上，该直线位移台带动所述的平凸锥透镜沿激光源输出光束方向直线运动。本发明大大简化了的投影光刻照明系统的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 环形 照明 模式 产生 装置 | ||
【主权项】：
一种用于投影光刻机的光刻环形照明模式产生装置，包括激光源，特征在于沿激光源输出光束方向依次是第一透镜、第二透镜、锥形光束产生器件、平凸锥透镜，所述的平凸锥透镜固定在直线位移台上，该直线位移台带动所述的平凸锥透镜沿激光源输出光束方向直线运动，所述的第一透镜和第二透镜构成扩束准直镜组，所述的锥形光束产生器件采用具有三个光轴的双折射晶体制成，沿三个光轴方向的折射率分别n1、n2、n3，并且满足n1 W > L · tan ( 2 ( n 2 - n 1 ) ( n 3 - n 2 ) / n 2 ) .
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