[发明专利]采用放大自发辐射光源测试光学元件损伤阈值装置和方法无效
| 申请号： | 201310422557.X | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN104062299A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 周琼;庄亦飞;冯滔;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种采用放大自发辐射光源测试光学元件损伤阈值装置和方法，该测试装置包括ASE光源、能量衰减器、λ/2波片、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一平凸透镜、平凹透镜、楔形取样镜、供待测光学元件设置的样品平台、小孔光阑、第二平凸透镜、能量计、CCD探测器和计算机，本发明能减少辐照光源由于光束的干涉和衍射造成的光场起伏，能够准确评估光学元件表面的损伤阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 放大 自发辐射 光源 测试 光学 元件 损伤 阈值 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种采用放大自发辐射光源测试光学元件损伤阈值装置，特征在于该装置包括ASE光源（1）、能量衰减器（2）、λ/2波片（3）、第一反射镜（4）、第二反射镜（5）、第三反射镜（6）、第四反射镜（7）、第一平凸透镜（8）、平凹透镜（9）、楔形取样镜（10）、供待测光学元件设置的样品平台（11）、小孔光阑（12）、第二平凸透镜（13）、能量计（14）、CCD探测器（15）和计算机（16），沿所述的ASE光源（1）的激光输出方向依次是所述的能量衰减器（2）、λ/2波片（3）、第一高反镜（4）、第四高反镜（7）、第一平凸透镜（8）、平凹透镜（9）、楔形取样镜（10）和待测光学元件，在所述的楔形取样镜（10）的反射光方向分别设有第二高反镜（5）和第三高反镜（6），在第二高反镜（5）的反射光方向是所述的CCD探测器（15），在第三高反镜（6）的反射光方向依次是所述的小孔光阑（12）、第二平凸透镜（13）和能量计（14），所述的计算机（16）的输出端与所述的样品平台（11）的控制端相连，所述的CCD探测器（15）的输出端与所述的计算机（16）的第一输入端相连，所述的能量计（14）的输出端与所述的计算机（16）的第二输入端相连，所述的计算机（16）具有采集光场分布和光束能量的软件以及控制样品平台（11）的驱动软件。
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