[发明专利]MEMS元件以及振荡器

摘要

本发明提供MEMS元件以及振荡器，能够使其它振动模式远离1次振动模式、并能够以期望的频率进行振荡。本发明的MEMS元件（100）包含基板（10）、形成在基板（10）上方的第1电极（20）以及第2电极（30），该第2电极具有形成在基板（10）上方的支承部（32）以及从支承部（32）延伸并以在与第1电极（20）之间具有空隙的状态形成且能够在基板（10）的厚度方向上进行振动的梁部（33），梁部（33）的宽度（W）随着从梁部（33）的根部（38）朝梁部（33）的前端（37）而变小，梁部（33）的中心的长度（L1）大于梁部（33）的端部（35a、36a）的长度（L2、L3），梁部（33）的根部（38）的宽度（W0）大于梁部（33）的中心的长度（L1）。

主权项

一种MEMS元件，其包含：基板；第1电极，其形成在所述基板的上方；以及第2电极，其具有支承部和梁部，该支承部形成在所述基板的上方，该梁部从所述支承部延伸，以与所述第1电极之间具有空隙的状态形成，能够在所述基板的厚度方向上进行振动，所述梁部的宽度随着从所述梁部的根部朝所述梁部的前端而变小，所述梁部的中心的长度大于所述梁部的端部的长度，所述梁部的根部的宽度大于所述梁部的中心的长度。