[发明专利]加速度计

摘要

本发明提供一种加速度计，包括基板、检测质量块及支撑基座，支撑基座固定在基板上，检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在支撑基座的表面，当加速度计存在一与基板表面垂直方向的加速度时，检测质量块以弹片所在直线为轴转动，基板包括凹腔及第一限位块，凹腔设置于检测质量块质量较大的一侧，用于防止检测质量块在转动过程中触碰基板，第一限位块位于支撑基座与凹腔之间，用于限制检测质量块可以转至的最大位置。本发明的优点在于，将第一限位块靠近支撑基座设置，能够显著增大检测质量块的恢复力，在基板上设置凹腔，避免由于第一限位块靠近支撑基座设置导致的检测质量块与基板上的凸起触碰或者检测质量块的边缘与所述基板触碰。

主权项

一种加速度计，包括基板、检测质量块及支撑基座，所述支撑基座固定在所述基板上，所述检测质量块通过一相对设置的弹片以非对称的方式悬置在所述支撑基座的表面，当所述加速度计存在一与基板表面垂直方向的加速度时，所述检测质量块以弹片所在直线为轴转动，其特征在于，所述基板包括凹腔及第一限位块，所述凹腔设置于所述检测质量块质量较大的一侧，用于防止所述检测质量块在转动过程中触碰所述基板，所述第一限位块位于所述支撑基座与所述凹腔之间，用于限制所述检测质量块可以转至的最大位置，还包括至少两个电极，所述两个电极相对设置在基板上并分别对应于所述检测质量块质量较大的一侧和质量较小的一侧，用于与所述检测质量块形成电容。