[发明专利]一种力敏谐振元件及该元件的制造方法有效
| 申请号： | 201310427365.8 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103471760A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 林丙涛;赵建华;董宏奎 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L1/00;G01L23/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种力敏谐振元件及该元件的制造方法，力敏谐振元件包括两基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽的内壁以及谐振梁的侧壁分别覆盖有电极，两根谐振梁通过激励电源方向设置使之振动方向相反。谐振梁上每面的凹槽至少包括位于谐振梁两端的端部凹槽，每个端部凹槽由两侧平行的端部深凹槽和位于两个端部深凹槽之间且与两个端部深凹槽连为一体的端部浅凹槽构成。本力敏谐振元件电极的作用面距离短，谐振梁内的场强增大，电极的激励效率提高，更适于传感器微型化制作。设置深凹槽，增加凹槽的侧壁陡直度，以便提高电极的激励效率，使得谐振梁的激振效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种力敏谐振元件，包括两基部（2）和位于两基部之间且工作于宽度弯曲谐振模态的谐振梁（3），其特征在于：所述谐振梁（3）为相同结构的两根，谐振梁（3）的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，所述凹槽的内壁以及谐振梁（3）的侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极，该凹槽的开口方向与所述谐振梁（3）的振动方向垂直，两根谐振梁（3）通过激励电源方向设置使之振动方向相反。
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