[发明专利]一种用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置

摘要

本发明公开了一种用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置，包括六氟化硫分离装置、毛细柱进样装置、Gaspro色谱柱、微板流路控制阀和第二硫化物检测器，其中，所述毛细柱进样装置包括互相连通的第一入口、第二入口和第一出口，所述第二入口与所述六氟化硫分离装置连通，所述第一入口用于通入辅助气，所述微板流路控制阀包括第三入口、第二出口和第三出口，所述Gaspro色谱柱分别与所述第一出口和所述第三入口连通，所述第二硫化物检测器与所述第二出口连通。本发明提供的用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置能够实现对氟化硫酰的准确检测。

主权项

一种用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置，其特征在于，包括六氟化硫分离装置、毛细柱进样装置（4）、Gaspro色谱柱（8）、微板流路控制阀（5）和第二硫化物检测器（9），其中，所述毛细柱进样装置（4）包括互相连通的第一入口（41）、第二入口（42）和第一出口（43），所述第二入口（42）与所述六氟化硫分离装置连通，所述第一入口（41）用于通入辅助气，所述微板流路控制阀（5）包括第三入口（51）、第二出口（52）和第三出口（53），所述Gaspro色谱柱（8）分别与所述第一出口（43）和所述第三入口（51）连通，所述第二硫化物检测器（9）与所述第二出口（52）连通。