[发明专利]一种气体分析装置及方法有效
| 申请号： | 201310430575.2 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103487593A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 宗明成;徐天伟;黄有为;马向红;魏志国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00;G01N35/10;G01N1/22;G01N1/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有原位标定功能的气体分析装置。所述装置包括：取样室，与待测腔室通过第一阀门相连，用于引入待测腔室的样品气体；分析室，与取样室通过第二阀门相连，分析室上设有真空规管，用于监测分析室的真空度；气体分析器，设于分析室内，用于对待分析气体进行分析测试；标定模块，用于向气体分析器提供标准气体，对气体分析装置进行定量标定。本发明还提供一种气体分析方法。本发明通过标定模块对气体分析装置进行定期标定，通过加热器进行烘烤除气，并通过吹扫放气模块进行气体吹扫及保护气充入，保持系统持续具备良好的测试本底，保证测试准确性，可实现十亿分之一量级的气体浓度测试，尤其适用于对EUV真空环境进行气体分析检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种气体分析装置，用于对待测腔室内的气体进行分析，其特征在于，包括：取样室，与所述待测腔室通过第一阀门相连，用于引入所述待测腔室的样品气体；分析室，与所述取样室通过第二阀门相连，所述分析室上设有真空规管，用于监测所述分析室的真空度；气体分析器，设于所述分析室内，用于对所述待分析气体进行分析测试；标定模块，用于向所述气体分析器提供标准气体，对所述气体分析装置进行定量标定。
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