[发明专利]波束成形器、退火系统、热处理法和半导体装置制造方法

摘要

本发明提供一种波束成形器、采用该波束成形器的退火系统、对基底进行热处理的方法和制造半导体装置的方法。所述处理系统包括：能量源，产生沿着能量束路径发射的能量束。波束截面成形器沿着能量束路径布置，接收入射能量束并修改入射能量束的截面形状以输出形状修改的能量束。波束强度成形器沿着能量束路径布置，接收具有第一强度轮廓的入射能量束并输出具有第二强度轮廓的强度被修改的能量束，其中，所述第一强度轮廓在其中心区域具有相对最大平均强度，第二强度轮廓在其中心区域具有相对最小平均强度。

主权项

1.一种处理基底的方法，包括：在能量源产生能量束；在波束截面成形器接收能量束，波束截面成形器修改能量束的截面形状以输出形状被修改的能量束；在波束强度成形器接收能量束，接收的能量束具有第一强度轮廓，波束强度成形器输出具有第二强度轮廓的强度被修改的能量束，其中，所述第一强度轮廓在其中心区域具有相对最大平均强度，第二强度轮廓在其中心区域具有相对最小平均强度；以及将强度被修改的能量束施加到位于载物台的基底，入射到基底的强度被修改的能量束用于处理基底。