[发明专利]多层结构硬质、耐磨、润滑涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310432322.9 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN104372299B | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 杨俊峰;蒋燕;杨瑞芳;程帜军;王先平;方前锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 23003*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层结构硬质、耐磨、润滑涂层及其制备方法，所述多层结构涂层是通过磁控溅射在_基底上交替沉积Mo‑Al‑Si‑N和Mo‑Ag‑N涂层来制备多层的Mo‑Al‑Si‑N/Mo‑Ag‑N涂层。本发明的多层结构涂层具有较高的硬度和抗氧化性温度以及低的摩擦系数和磨损率，特别适用高速干式切削工具(铣刀、钻头)和其他耐磨工件上镀制的优质超硬薄膜。本发明的制备方法沉积速度快，效率高，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 结构 硬质 耐磨 润滑 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多层结构硬质、耐磨、润滑涂层，其特征在于所述涂层包括交替的Mo‑Al‑Si‑N和Mo‑Ag‑N薄膜层，所述涂层具有至少两个Mo‑Al‑Si‑N/Mo‑Ag‑N多层的重复结构，且所述Mo‑Al‑Si‑N/Mo‑Ag‑N单层膜的厚度为纳米尺度。
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