[发明专利]受保护的热电元件、包含所述热电元件的热电器件及其形成方法有效
申请号: | 201310432478.7 | 申请日: | 2013-09-22 |
公开(公告)号: | CN104465976B | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 夏绪贵;陈立东;李小亚;黄向阳;唐云山;廖锦城;顾明;何琳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所;康宁股份有限公司 |
主分类号: | H01L35/02 | 分类号: | H01L35/02;H01L35/34 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 沙永生 |
地址: | 200050 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及受保护的热电元件、包含所述热电元件的热电器件及其形成方法,提供了一种受保护的热电元件,包含包含热电材料的热电元件;在所述热电元件上的复合保护层,所述复合保护层包含一个或多个由连接过渡层结构和阻挡层结构组成的复合单元,其中所述连接过渡层结构包含一个或多个选自下组的层金属层、金属合金层和金属间化合物层;所述阻挡层结构包含一个或多个选自下组的层氧化物层、氮化物层、碳化物层、硅化物层、硅酸盐层、合金层和氧化物玻璃层。还提供了一种包含上述受保护的热电元件的热电器件及形成受保护的热电元件的方法。本发明提高了热电元件及相应器件的耐久性和使用可靠性,并且与没有涂层的热电器件相比提高了在长时间服役情况下热电器件的转换效率。 | ||
搜索关键词: | 保护 热电 元件 包含 热电器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种受保护的热电元件,其包含:包含热电材料的热电元件;以及在所述热电元件上形成的复合保护层,所述复合保护层包含一个或多个由连接过渡层结构和阻挡层结构组成的复合单元,使得所述受保护的热电元件具有如下组成:热电元件/(连接过渡层结构/阻挡层结构)n,n表示由连接过渡层结构和阻挡层结构组成的复合单元的数目,n为整数且n≥1,其中所述连接过渡层结构包含一个或多个各自选自下组的层:金属层、金属合金层和金属间化合物层,并且所述阻挡层结构包含一个或多个各自选自下组的层:氧化物层、氮化物层、碳化物层、硅化物层、硅酸盐层、合金和氧化物玻璃层,其中所述连接过渡层结构与所述热电材料之间具有扩散层或反应层。
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