[发明专利]感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜的元件有效

专利信息
申请号: 201310432700.3 申请日: 2013-09-22
公开(公告)号: CN103728833B 公开(公告)日: 2017-01-04
发明(设计)人: 陈凯民;施俊安 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G02B1/04
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 代理人: 刘新宇,李茂家
地址: 中国台湾台南 市*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜的元件。一种感光性树脂组成物,包含:碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C),及溶剂(D)。其中,该含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合产物,该硅烷材料包括具有式(I)结构的含硫醇基的硅烷:RaSi(ORb)3(I)式(I)中,Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的C1至C8的有机基团,或含硫醇基且具有芳香环的有机基团;Rb表示氢、C1至C6的烷基、C1至C6的酰基,或C6至C15的芳香基,多个Rb各自为相同或不同。本发明还提供由上述感光性树脂组成物形成的保护膜,及具有该保护膜的元件。
搜索关键词: 感光性 树脂 组成 保护膜 具有 元件
【主权项】:
一种感光性树脂组成物,其特征在于包含:碱可溶性树脂(A),其由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和化合物(a2),及其他不饱和化合物(a3)共聚合而得;邻萘醌二叠氮磺酸酯(B);含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C);及溶剂(D);其中,所述含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合产物,所述硅烷材料包括具有式(I)结构的含硫醇基的硅烷;RaSi(ORb)3  (I)式(I)中,Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的C1至C8的有机基团,或含硫醇基且具有芳香环的有机基团;Rb表示氢、C1至C6的烷基、C1至C6的酰基,或C6至C15的芳香基,多个Rb各自为相同或不同。
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