[发明专利]真空镀膜室防镀膜观察窗无效
| 申请号： | 201310434775.5 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103469171A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 关秉羽 | 申请（专利权）人： | 辽宁北宇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 铁岭天工专利商标事务所 21105 | 代理人： | 靳万清 |
| 地址： | 112000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜室防镀膜观察窗，包括与真空镀膜室相连通的观察窗小脖，观察窗小脖装有法兰，法兰具有左、右两个法兰盘，左、右两个法兰盘的内侧壁形成有腔室，腔室内装有挡板，法兰的下部装有圆形石英玻璃观察窗，所述挡板为圆形薄板，相应地所述腔室为圆形腔室，所述挡板沿径向开有两条对称条形狭缝，挡板的中心位置装有转轴，转轴连有驱动电机，所述狭缝的长度与所述石英玻璃观察窗的径向尺寸相当，当所述挡板旋转至某一角度时，所述狭缝刚好位于石英玻璃观察窗内。通过本发明在观察镀膜室内部工况时石英玻璃不会被镀上膜，节省了石英玻璃，也减轻了工人的劳动强度、提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 镀膜 观察窗 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜室防镀膜观察窗，包括与真空镀膜室相连通的观察窗小脖（1），观察窗小脖（1）装有法兰（2），法兰（2）具有左、右两个法兰盘（3、4），左、右两个法兰盘（3、4）的内侧壁形成有腔室（5），腔室（5）内装有挡板（6），法兰（2）的下部装有圆形石英玻璃观察窗（7），其特征在于：所述挡板（6）为圆形薄板，相应地所述腔室（5）为圆形腔室，所述挡板（6）沿径向开有两条对称条形狭缝（8），挡板（6）的中心位置装有转轴（9），转轴（9）连有驱动电机（10），所述狭缝（8）的长度与所述石英玻璃观察窗（7）的径向尺寸相当，当所述挡板（6）旋转至某一角度时，所述狭缝刚好位于石英玻璃观察窗（7）内。
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